的超高纯气体输送系列解决方案，关注从气源到使用点，再到尾气处理的每一个环节，设计、制造、现场安装调试到运行管理和维护保养等。解决方案实现安全稳定、无污染、满足工艺制程要求的供应，是产线良率保障的关键系统之一。同时，满足工艺也兼顾环保达标排放。

超高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和 试验测试等内容。气体管道工程，主要产品有于减压阀，卡套接头，阀门管件，管道系统安装、球阀针阀、VCR接头、焊接接头、阻火器、过滤器、气体管道系统、高纯管道系统、不锈钢洁净管等产品。

如何避免输送过程中系统对高纯气体的二次污染便成为超高纯气体输送系统的首要考量。另外，泛半导体行业所使用的各类特殊气体通常具有易燃、易爆、剧毒、腐蚀、窒息等各种危险特性。同时，由于泛半导体行业工艺复杂先进，对超高纯气体的质量保障和系统稳定运行提出了严苛的要求。

因此，在高纯气体输送系统的设计、安装和运行过程中需要充分考虑洁净度、安全性、稳定性等关键因素。超高纯气体输送系统在系统开机调试之前必须通过保压测试、氦检漏测试、水分增量测试、氧分增量测试、颗粒度增量测试来保证系统的高洁净度和高安全度。

高纯气体输送系统整体解决方案包括:

① 大宗气体供应系统;

② 特殊气体供应系统;

③ 纯化器系统;

④ 在线气体品质监控系统;

⑤ 气体泄露侦测系统;

⑥ 气体设备运行管理系统;

⑦ 尾气处理系统;

⑧ 气体供应管路系统和二次配工程